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節能能源管理系統之功率元件
#極力開發碳化矽、氮化鎵、及氧化鎵等功率元件 #下世代氮化鎵功率元件與閘極驅動器 #下世代氧化鎵功率元件
願景
根據市場分析指出,未來二十年功率元件的市場會持續成長,且對於不同的應用,在耐壓和速度等特性有不同的要求,以實現未來智慧節能、再生綠能、與永續社會的願景。近年來全球在環境保護以及能源不足的雙重壓力下,開發與利用再生能源、提升能源使用效率等大方向,已成為各國政經的重大課題,除了綠能之外,紛紛投入節能領域技術開發,以期改善困境,並創造新產業,帶動就業與國家經濟發展。無線充電、電動車自駕及充電、物聯網、人工智慧(AI) 電力、工業控制、汽車電子、消費性電子及5G、6G 的高頻高功率時代業已來臨,特別是電力電子應用正朝向小面積、高頻切換、高功率密度、低耗能的方向發展。人類智慧生活對於電子產品之使用與依賴與時俱進,各式電子產品均需要輕便功率轉換模組進行充電,對於更高的功率、更高的操作頻率、更高的耐溫特性的功率電子關鍵技術之提升,將隨著人類生活的進步而日益殷切與重要。過去功率元件以矽(Si)材料為主,但矽基的電子元件受限於能隙,電力電子技術的提升和持續進展需仰賴新興的寬能隙材料,如碳化矽(SiC)、氮化鎵(GaN)、及氧化鎵(Ga2O3)等,現今新興的寬能隙材料與功率元件競爭者遍佈全球。
關鍵議題
在日常生活中的節能減碳已是現今電子產品開發不可忽略的重要環節。面對市場日益嚴苛的能源效率要求,傳統以矽為材料的功率半導體,正逐漸面臨發展瓶頸,因此,功率半導體製造商紛紛著手布局新的材料技術,使得具有比矽更低導通電阻及更高切換速度的第三代半導體,如氮化鎵(GaN)與碳化矽(SiC),遂成為眾所矚目的焦點。在電晶體功率元件/模組應用上,第三代半導體材料正逐漸取代傳統矽基功率元件中高階應用,GaN材料已逐步取代200V 電壓以下之矽基功率元件應用,而SiC主要應用於1200V 電壓以上。而由目前最新研發趨勢來看,GaN功率元件也朝電壓600V 應用做為研發方向,整體產業應用會更加蓬勃與成熟。
在電晶體功率元件/模組應用上,GaN 電子元件的低導通電阻(為IGBT 之1/5~1/10)、高速切換速率(為IGBT 之10 倍以上)、耐高壓(原理可達數千伏) 與耐高溫(> 250℃)等特性,且矽基氮化鎵(GaN on-Silicon)具有成本低於SiC元件(50%)的優勢; 在實際應用面上,與SiC元件相比切換速度快,技術可用於電動車,電動化/智慧化車輛之充電或是馬達驅動,消費電子用品輕便快充和無線充電, 提高功率轉換模組效能,提升能源使用效率。
氧化鎵之能帶間隙大於矽材料、SiC、和GaN,雖導熱性較低,但氧化鎵因基板生產成本較低,且β-Ga2O3具最高的理論“巴利加優值”(Baliga’s figure of merit – BFOM =εμEbr3 ; ε 是相對介電常數,μ 是電子遷移率),在相同耐壓的單極性功率元件比較下, 導通電阻會比常用的SiC或GaN 製作出來的低,因此極有希望可以應用於電力調節和配電系統中的高壓整流器中,如電動汽車和光伏太陽能系統,和某些類型的電力電子設備的可行性選擇,成為第四代半導體的最佳候選材料。
關鍵研究方向及技術
將極力開發碳化矽、氮化鎵、及氧化鎵等功率元件,配合相對應的電路設計,達成符合未來需求的節能能源管理系統。
下世代氮化鎵功率元件與閘極驅動器
在過去,GaN 的高功率元件主要是以能障層為AlGaN 之高電子遷移率電晶體(HEMT)為主。最近 InAlGaN 成為新的研究方向,因為它具更高的極化效應與更高的二維電子氣濃度(2DEG),且具有與 GaN 近乎相同的晶格常數(lattice match),並且不會有 InAlN 常見的偏析現象(偏析現象常導致barrier layer 的成分不均)。過去數年,InAlN 因其較AlGaN高的極化效應而能產生高通道電荷而被廣泛研究。但InAlN在成長的過程中需要精細的控制,溫度需要極其的穩定,不然 In 會因為偏析現象導致過多的缺陷,讓閘極漏電上升與電子遷移率下降。為了提高二維電子濃度與解決偏析現象,本校研究團隊在InAlN 層中加入 Ga 形成 InAlGaN/GaN HEMTs, 相對於原始的 InAlN 而言,偏析點明顯平緩許多,並且可以利用調整 Al 的比例進行更精確地控制晶格常數與能障高度。
由於二維電子氣(2DEG)通道直接存在於GaN/AlGaN 異質接面中,GaN 裝置本質上是常開裝置。然而,電力電子產業強烈需求的是常關裝置。有兩種方法可以實現此期望: 串疊 Cascode 方法,或實現真正的單片增強模式裝置。為降低與 GaN 相關的切換損耗,提供更小巧輕量的設計,SMD 封裝的裝置允許緊湊和模組化的設計,使用更小的散熱器和更少的元件。並在某些應用中轉向更高的切換頻率可縮小被動元件的尺寸。在系統層級,以 GaN 為基礎的電源供應器具有更高的功率密度,因此可在相同體積內安裝更高的運算能力。本校研究團隊在無線充電的 E 類射頻(RF)功率放大器中使用氮化鎵(GaN)功率件,並強調 GaN 高電子遷移率電晶體(HEMT)裝置在 E 類功率放大器拓撲結構中優於金屬氧化物半導體場效電晶體(MOSFET)的優勢。目前大多數無線充電系統皆以電感(Qi)標準為基礎,透過頻率在 100 至300kHz 範圍內的電感耦合進行運作。雖然這是較廣為採用的方法,但它只能為單一裝置充電,而且放置裝置時必須符合特定方向且非常靠近充電器。替代的拓撲已獲得越來越多的關注(例如E類),以透過諧振耦合實現更自由的無線電力傳輸設計。利用這些拓撲結構,可在 1 至 10MHz 的運作頻率範圍內實現高效率。
氮化鎵影片:https://drive.google.com/file/d/1XOhHUO-NAt_tDB2Nk96kWmbEvbAdlpnb/view?usp=sharing
下世代氧化鎵功率元件
氧化鎵具備碳化矽所有之優點,卻無碳化矽製程之困難,目前其功率元件耐壓可達6.5 kV。
新一代更寬能隙之半導體;稱為超寬能隙半導體,或第四代半導體,氧化鎵(Ga2O3)與鑽石(Diamond) 。Ga2O3 是一種新興的功率半導體材料,其帶隙高達4.9 eV,鑽石能隙更高達 5.5 eV,不僅遠大於 Si,也大於 GaN 與 SiC。評估其用於功率元件之主要參數為 Baliga Figure of Merit (BFOM),Ga2O3 BFOM 是 Si 的3214倍,是GaN 與 SiC 之 4 倍與 10 倍, Diamond 更是居所有材料之冠。
功率半導體材料現在的主流材料是矽,但圍繞損耗更小的電力控制,碳化矽(SiC)和氧化鎵等材料的開發不斷推進。氧化鎵更在相關競爭中佔據優勢。據悉氧化鎵晶圓的價格比碳化矽晶圓低,且可以更加高效地控制電力。氧化鎵可以用4-6吋晶圓等的現有設備來生産半導體,能夠控制住設備投資。
其他相關子計畫:前瞻半導體

前瞻半導體與智能系統
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